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측정클럽. 이 이름만으로는 사실 무엇을 하는 곳인지 아니면 무슨 연구를 하는 곳인지 짐작하기가 쉽지 않다. 그럼 이렇게 말하면 어떨까.
산업체의 기술적 애로사항이 있다면 이를 과학적으로 해결하는 곳이라고 말이다. 잘은 모르겠지만 그래도 대충은 그림이 그려질 것이다. 그 중
‘대기환경 측정클럽’은 온실가스 저감(低減)기술과 관련한 산업체의 요구에 적극 대응하는 연구 클럽인 셈이다.
아직까지 국내에 가스측정·분석을 제대로 할 수 있는 기관이 없기 때문에 대기환경 측정클럽의 어깨는 더욱 무거울 수밖에 없다. 이 클럽이
최근 가장 힘을 기울이고 있는 분야는 ‘반도체 공정상의 온실가스 저감’이다.
N2O(아산화질소) HFCs(수소불화탄소), PFCs(과불화탄소), SF6(육불화황) 같은 가스가 반도체 공정에서 사용되고 있다. 이들
가스는 이산화탄소(CO2), 메탄(CH4)과 함께 6대 온실가스로 지목된 바 있어 정부 차원에서 관리하고 있다. 실제로 안면도 기후변화감시센터
쪽에서 온실가스 농도 모니터링이 정기적으로 실시되고 있다.
삼성전자, 하이닉스, 후지쓰, TSMC 등 반도체 제조회사에서도 온실가스 저감 대책을 적극적으로 실행하고 있다. 이미 10여 년 전 세계
반도체 협의회를 중심으로 공정에서 발생하는 유해 가스를 줄이기 위한 자발적 협약을 맺었을 정도다. 대기환경 측정클럽은 저감평가에 필수적인 표준가스 제조·공급, 배출량 측정·시험 방법 개발·교육, 기술자문 등에서 활약을 펼치고 있다.
‘온라인 연속 유량 및 농도 동시 측정기술’과 ‘적분법을 이용한 배출총량 측정법’ 등을 개발한 것이 두드러진 성과 중 하나다.
저감시설에 대한 기술 평가도 병행하고 있다. 각 제조회사에 설치된 저감시설이 제대로 잘 작동하고 있는지, 실질적 감축 효과는 얼마나
되는지를 정확히 알아내는 일이다. 이는 배출량의 목표를 관리하는데 기초 자료로서 중요성을 지닌다.
특히 저감시설은 제조 당시 성능과 관련한 시뮬레이션 결과와 현장 설치·가동 후의 성능이 다른 것이 약점으로 지적되고 있다. 독립된
장치로서의 성능은 좋으나 공정상의 여러 가지 요인으로 처리효율이 100%까지 올라갔다가 50%대로 떨어지는 일이 가끔 발생한다. 이는 반도체
생산성과도 직결된다. 저감장치의 현장 적용에 있어서의 효율성에 신경을 써야 하는 이유다.
대기환경 측정클럽은 저감장치의 성능을 평가하면서 동시에 효율성을 개선할 수 있는 방법을 모색하고 있다. 요즘엔 반도체 회사들이 온실가스
배출을 좀 더 체계적으로 관리할 수 있는 시스템을 갖추는데 필요한 기술적 지원도 아끼지 않고 있다.
허귀석 대기환경 측정클럽 회장은 “온실가스를 줄이기 위한 교토 의정서의 2012년 만료를 앞두고 2010년 포스트 교토 의정서가
타결됐다”며 “우리나라는 이번에도 온실가스 의무감축국 지위를 면하게 됐지만 정부가 각 기업에게 요구하는 온실가스 감축에 대한 구체적이고 객관적인
종합계획은 강화됐다”고 강조했다.
온실가스 저감대책은 배출량에 대한 정확한 측정에서 시작된다. 이로인해 대기환경 측정클럽의 역할은 날로 커지고 있다.
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